[实用新型]一种扩张翻转一体化设备

摘要

一种扩张翻转一体化设备，涉及半导体行业晶圆扩张、翻转技术领域。该设备包括操作台、支撑架、上气缸、上托盘、下托盘、金属环支架、切膜刀和锁扣。本实用新型既可以实现常规的扩张步骤，也可以实现翻转步骤，达到投资费用低，操作步骤少，降低耗材的消耗，提高生产效率等目的。

主权项

一种扩张翻转一体化设备，其特征在于：包括操作台、支撑架、上气缸、上托盘、下托盘、金属环支架、切膜刀和锁扣；所述支撑架固定在操作台上方；所述上气缸固定在支撑架上；所述上托盘安装在上气缸下部，可由上气缸带动上下运动；所述下托盘安装在操作台上，位置与上托盘相对应，并可上下运动；所述金属环支架设置在操作台上，环绕在下托盘周围，并可上下运动，通过所述锁扣与操作台锁紧固定；金属环支架带有滑道；所述切膜刀设有与金属环支架的滑道相匹配的滑道，与金属环支架通过滑道相连接；切膜刀设有刀片，所述刀片可在金属环支架的半径方向上摆动。