[实用新型]除油装置以及研磨液搅拌装置有效
| 申请号： | 201220521264.8 | 申请日： | 2012-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN202823221U | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 沈叶舟 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B01F7/16 | 分类号： | B01F7/16;B01F15/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种除油装置以及研磨液搅拌装置，所述除油装置用于去除研磨液搅拌装置的油渍，通过添加第一遮挡盘遮挡住搅拌马达泄露出的油渍，通过添加第二遮挡盘遮挡住研磨液缸的开口，并连接一油管排走第二遮挡盘的油渍，从而避免油渍落入研磨液缸中污染研磨液。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 以及 研磨 搅拌 | ||
【主权项】：
一种除油装置，用于去除研磨液搅拌装置的油渍，所述研磨液搅拌装置包括：搅拌马达、搅拌棒以及研磨液缸，所述研磨液缸设有一开口；其特征在于，所述除油装置包括：第一遮挡盘、第二遮挡盘和油管，所述第一遮挡盘设有一第一开孔，所述第二遮挡盘设有一第二开孔；所述第二遮挡盘的尺寸大于所述第一遮挡盘的尺寸，所述搅拌棒穿过所述第一开孔和第二开孔伸入到所述研磨液缸，所述第一遮挡盘与所述搅拌棒连接并随所述搅拌棒转动，所述第二遮挡盘固定于所述研磨液缸的开口上，所述油管与所述第二遮挡盘连通。
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