[实用新型]探针卡安装台及探针测量装置有效
| 申请号： | 201220520534.3 | 申请日： | 2012-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN202837352U | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 温娟;孙艳辉;张冠 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R1/073 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种探针卡安装台及探针测量装置，包括一基台和转盘，所述转盘位于所述基台上，还包括一组相互啮合的蜗轮和蜗杆；所述转盘固定于所述蜗轮上。通过蜗杆旋转转盘可以有效提高其调整精度，从而提高对位的效率，达到提高测试效率的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 安装 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种探针卡安装台，包括一基台和转盘，所述转盘位于所述基台上，其特征在于，还包括一组相互啮合的蜗轮和蜗杆；所述转盘固定于所述蜗轮上。
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