[实用新型]离子注入昆腾设备上离子源的结构有效
| 申请号： | 201220476687.2 | 申请日： | 2012-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN202905660U | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 顾炜;薛红强 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/317 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 刘昌荣 |
| 地址： | 201206 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种离子注入昆腾设备上离子源的结构，该离子源的灯丝上安装有绝缘套管。本实用新型通过在灯丝上安装绝缘套管，定位灯丝与阴极组装，有效防止了灯丝与阴极之间短路，从而保证了离子源的正常工作，同时延长了离子源的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 注入 昆腾 设备 离子源 结构 | ||
【主权项】：
离子注入昆腾设备上离子源的结构，其特征在于，离子源部位的灯丝上安装有绝缘套管。
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