[实用新型]离子注入昆腾设备上离子源的结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体设备领域，特别是涉及离子注入昆腾设备上离子源的一种新结构。 

背景技术

现有的离子注入Quantum（昆腾）设备，其离子源部的灯丝与阴极之间的间隙很小（一般在2mm左右），灯丝和阴极组装时容易发生偏离。由于离子源部工作时会产生高温，灯丝夹受热膨胀后会向两侧扩张形变，若是灯丝和阴极组装不良，灯丝就很容易碰触阴极而造成短路，影响离子源的正常工作。 

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种离子注入昆腾设备上离子源的结构，它可以有效防止灯丝和阴极短路，保证离子源正常工作。 

为解决上述技术问题，本实用新型的离子注入昆腾设备上离子源的结构，其离子源部位的灯丝上安装有绝缘套管。 

所述绝缘套管的形状可以是中心开通孔的圆柱体。 

所述绝缘套管的材质可以是陶瓷，例如三氧化二铝。 

本实用新型通过在离子源部灯丝上安装绝缘套管，定位灯丝与阴极组装，这样即使离子源工作时的高温造成灯丝夹受热膨胀，向两侧扩张形变，由于有绝缘套管的隔离保护，灯丝与阴极之间也不会发生短路，从而保证了离子源的正常工作，在保持产品工艺特性不变的前提下，大幅提高了机台的维护成功率及有效运行时间，离子源的使用寿命也可以得到延长。 

附图说明

图1是本实用新型实施例的灯丝上套有陶瓷绝缘套管的离子源部位结构示意图。 

图2是本实用新型实施例的陶瓷绝缘套管与灯丝组装的结构示意图。 

图3是本实用新型实施例的陶瓷绝缘套管的横截面示意图。 

图中附图标记说明如下： 

1：灯丝 

2：陶瓷绝缘套管 

具体实施方式

为对本实用新型的技术内容、特点与功效有更具体的了解，现结合图示的实施方式，详述如下： 

本实用新型的离子注入昆腾设备上离子源的结构如图1、2所示，其离子源部位的两根灯丝1外部分别套有一个陶瓷绝缘套管2。 

两个陶瓷绝缘套管2的陶瓷材料为三氧化二铝。 

陶瓷绝缘套管2的形状为中心开有通孔的圆柱体，该圆柱体的长度为27mm，横截面为环形，如图3所示。该环形横截面的外径为2.5mm，内径为1.3mm。 

陶瓷绝缘套管2与灯丝1的组装方式请参见图2所示，两个陶瓷绝缘套管2分别套在两根灯丝1外面，然后用灯丝夹固定陶瓷绝缘套管2和灯丝1（见图1虚线部分）。 

在灯丝上套上绝缘套管后，就可以定位灯丝与阴极的组装了。即使离子源工作时的高温造成灯丝夹受热膨胀，向两侧扩张形变，由于有绝缘套管的隔离保护，灯丝与阴极之间也不会发生短路，这样就保证了离子源的正常工作，同时，在保持产品工艺特性不变的前提下，大幅提高了机台的维护成功率及有效运行时间，节省了机台维护失败需要额外增加的费用和组装清扫的人力，而离子源的使用寿命也可以得到延长。