[实用新型]一种全自动固晶机的工作平台机构有效
| 申请号： | 201220340258.2 | 申请日： | 2012-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN202712245U | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 梁杰坤;罗会才;陈小宇 | 申请（专利权）人： | 深圳市因沃客科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/68 |
| 代理公司： | 深圳市凯达知识产权事务所 44256 | 代理人： | 刘大弯 |
| 地址： | 518103 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉半导体设备领域，尤其涉及一种全自动固晶机的双丝杆与双平台的工作平台机构，其特征在于：该双丝工作平台机构包括X轴工作台、X轴滑动组件、X轴驱动组件、Y轴工作台、Y轴滑动组件和Y轴驱动组件；所述的Y轴滑动组件包括双Y轴导轨和与Y轴滑台，Y轴导轨安装在Y轴工作台上，Y轴滑台在Y轴滑动组件的带动下沿Y轴导轨水平前后移动；所述的X轴滑动组件包括双X轴导轨和与X轴滑台，X轴导轨安装在X轴工作台上，X轴滑台在X轴滑动组件的带动下沿X轴导轨水平左右移动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全自动 固晶机 工作 平台 机构 | ||
【主权项】：
一种全自动固晶机的工作平台机构，其特征在于：该双丝工作平台机构包括X轴工作台、X轴滑动组件、X轴驱动组件、Y轴工作台、Y轴滑动组件和Y轴驱动组件；所述的Y轴滑动组件包括双Y轴导轨和与Y轴滑台，Y轴导轨安装在Y轴工作台上，Y轴滑台在Y轴滑动组件的带动下沿Y轴导轨水平前后移动；所述的X轴滑动组件包括双X轴导轨和与X轴滑台，X轴导轨安装在X轴工作台上，X轴滑台在X轴滑动组件的带动下沿X轴导轨水平左右移动。
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