[实用新型]一种易于封装的磁场传感器有效
| 申请号： | 201220331381.8 | 申请日： | 2012-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN202710738U | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 陈洁;黄庆安;秦明 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01R33/02 | 分类号： | G01R33/02;B81B3/00 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 汤志武 |
| 地址： | 210096*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种易于封装的磁场传感器，该磁场传感器包括四个悬臂梁、悬臂梁锚区、第一支撑柱、金属层、氧化硅膜层和硅膜层，悬臂梁锚区固定在第一支撑柱的顶面；四个悬臂梁呈十字形，固定在悬臂梁锚区的侧壁上；每个悬臂梁的顶面设有一圈金属线，悬臂梁锚区和第一支撑柱中设有八个连接通孔，金属层通过连接通孔与金属线连接；氧化硅膜层固定在硅膜层的顶面，金属层固定在氧化硅膜层的顶面，第一支撑柱固定在金属层的顶面；焊盘为八个，八个焊盘位于悬臂梁的外侧，焊盘和金属层之间设有第二支撑柱，第二支撑柱中设有连接孔，金属层通过连接孔与传感器的焊盘连接。该磁场传感器封装方便，能够降低引线对传感器性能的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 易于 封装 磁场 传感器 | ||
【主权项】：
一种易于封装的磁场传感器，其特征在于，该磁场传感器包括四个悬臂梁（3）、悬臂梁锚区（5）、第一支撑柱（6）、金属层（7）、氧化硅膜层（8）和硅膜层（9），悬臂梁锚区（5）固定在第一支撑柱（6）的顶面；四个悬臂梁（3）呈十字形，固定在悬臂梁锚区（5）的侧壁上；每个悬臂梁（3）的顶面设有一圈金属线（2），悬臂梁锚区（5）和第一支撑柱（6）中设有八个连接通孔（1），金属层（7）通过连接通孔（1）与金属线（2）连接；氧化硅膜层（8）固定在硅膜层（9）的顶面，金属层（7）固定在氧化硅膜层（8）的顶面，第一支撑柱（6）固定在金属层（7）的顶面；焊盘（4）为八个，八个焊盘（4）位于悬臂梁（3）的外侧，焊盘（4）和金属层（7）之间设有第二支撑柱，第二支撑柱中设有连接孔（41），金属层（7）通过连接孔（41）与传感器的焊盘（4）连接。
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