[实用新型]管状硅芯有效
| 申请号： | 201220328604.5 | 申请日： | 2012-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN202729812U | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 孙勇 | 申请（专利权）人： | 无锡中硅科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公布了一种管状硅芯，其特征在于：其形状为中空管状。其进一步特征在于：所述管状硅芯外形为圆形或方形。所述管状硅芯长度为10mm-4000mm，壁厚为0.5mm-20mm。本实用新型具备了圆硅芯和方硅芯的优点，在直径和截面积相同的情况下，使用的硅原料相对较少，降低了硅芯的原料使用量和成本，使用同样数量的硅料，可制造出更大直径和截面积的硅芯。由于直径和截面积加大，管状硅芯的外表面积也加大，有利于增加沉积速度和降低能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 管状 | ||
【主权项】：
管状硅芯，其特征在于：其形状为中空管状。
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