[实用新型]一种检测装置

摘要

本实用新型公开了一种检测装置，包括腔体（10），压力检测件（20），主管路阀门（30），氦质谱检漏仪装置(40)，腔体抽空装置(50)，微水仪装置(60)，六氟化硫气源(70)，氦气气源(80)，和氮气气源(90)及其分管路。采用本实用新型，可有效提高抽真空效率，减少人为疏忽导致产品质量问题。亦可有效提高六氟化硫全密封全绝缘充气柜生产的一个最重要的工序，即六氟化硫充注的生产效率及整个产品的质量。

主权项

一种检测装置，其特征在于，包括腔体（10）、压力检测件（20）、主管路阀门（30）、氦质谱检漏仪装置(40)、腔体抽空装置(50)、微水仪装置(60)、六氟化硫气源(70)、氦气气源(80)、和氮气气源(90)及其各分管路; 所述腔体(10)的外壳部连接三个支路，其一支路通过第一管路(11)连接第二真空计(23)，其二支路通过第二管路（12）分别接入第三阀门（33）和氦质谱检漏仪装置（40），其三支路通过第三管路（13）连接第一阀门（31）后再分三条支路，为第四管路（14），第五管路（15）和第六管路（16），所述第四管路（14）连接第一真空计(22)，所述第五管路(15)连接第二阀门(32)后再分两条支路，为第七管路(17)和第八管路(18)，所述第七管路(17)连接气压表（21）后,接入被检测物(200)内，所述第八管路(18)连接第十阀门(34)后再分四个支路，分别接入微水仪装置(60)，六氟化硫气源(70)，氦气气源(80)，和氮气气源(90)四个组件，所述第六管路(16)在其终端接入腔体抽空装置(50)。