[实用新型]一种基座支撑装置有效
| 申请号： | 201220279054.2 | 申请日： | 2012-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN202786500U | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 殷海丰;王文林 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
| 主分类号： | C30B19/06 | 分类号： | C30B19/06 |
| 代理公司： | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人： | 田俊峰 |
| 地址： | 300220*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基座支撑装置，所述支撑装置由石英制成，安装在桶式外延炉中：所述支撑装置为等径空心圆柱结构，上表面为平面，嵌入式地与基座底盘凹槽相连接；下表面设置有卡槽，与外延炉托盘上的石英盘相连接。本实施例装置可以整体提高基座在腔内的位置，相当于提高了最底层外延片所处的温区，同时可以通过调节垫圈高度来调整最上层外延片所处的温区，做到不影响反应腔内流场的分布，达到增加最底层外延片下边的厚度，改善厚度均匀性的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基座 支撑 装置 | ||
【主权项】：
一种基座支撑装置，其特征在于，所述支撑装置由石英制成，安装在桶式外延炉中：所述支撑装置为等径空心圆柱结构，上表面为平面，嵌入式地与基座底盘凹槽相连接；下表面设置有卡槽，与外延炉托盘上的石英盘相连接。
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