[实用新型]一种基板上残留物的检测装置有效
| 申请号： | 201220268701.X | 申请日： | 2012-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN202735259U | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 阎长江;姜晓辉 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N29/12 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人： | 张颖玲;周义刚 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基板上残留物的检测装置，包括检测信号发射源、检测信号接收器和控制器；其中，所述检测信号发射源，用于向基板发射波信号；所述检测信号接收器，用于接收基板所反馈的波信号，并将收到的波信号用于检测残留物的有用信息发送给控制器；所述控制器中预先设置有用于检测残留物的有用信息与物质的材质之间的对应关系，所述控制器用于根据该对应关系确定收到的用于检测残留物的有用信息所对应的物质的材质是否为残留物。本实用新型提供的基板上残留物的检测装置，能够自动实现基板上的残留物检测，相比人工操作而言能够明显提高准确率，减少耗时。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基板上 残留物 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种基板上残留物的检测装置，其特征在于，该装置包括检测信号发射源、检测信号接收器和控制器；其中，所述检测信号发射源，用于向基板发射波信号；所述检测信号接收器，用于接收基板所反馈的波信号，并将收到的波信号中用于检测残留物的有用信息发送给控制器；所述控制器中预先设置有用于检测残留物的有用信息与物质的材质之间的对应关系，所述控制器用于根据该对应关系确定收到的用于检测残留物的有用信息所对应的物质的材质是否为残留物。
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