[实用新型]一种基板上残留物的检测装置

权利要求书

1.一种基板上残留物的检测装置，其特征在于，该装置包括检测信号发射源、检测信号接收器和控制器；其中，

所述检测信号发射源，用于向基板发射波信号；

所述检测信号接收器，用于接收基板所反馈的波信号，并将收到的波信号中用于检测残留物的有用信息发送给控制器；

所述控制器中预先设置有用于检测残留物的有用信息与物质的材质之间的对应关系，所述控制器用于根据该对应关系确定收到的用于检测残留物的有用信息所对应的物质的材质是否为残留物。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，

所述检测信号发射源为光源，用于发射光；

所述检测信号接收器为光电传感器，用于接收所述光源被基板反射后所发出的光信号，并将收到的光信号转换为电信号，再将该电信号发送给所述控制器。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述控制器中预先设置的所述对应关系为：电信号的大小与物质的材质之间的对应关系。

4.根据权利要求2或3所述的装置，其特征在于，所述光源、光电传感器以及控制器中的任何一个或多个，设置于操控基板的机械手上。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，

所述检测信号发射源为声波源，用于发射声波；

所述检测信号接收器为频率探测器，用于接收所述声波源经过基板传播后反馈的声波，再将收到的声波的频率发送给控制器。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述控制器中预先设置的所述对应关系为：

声波在介质中的传播速度与物质的材质之间的对应关系，或

声波频率与物质的材质之间的对应关系。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述控制器中预先设置的所述对应关系为声波在介质中的传播速度与物质的材质之间的对应关系时，控制器用于：

根据收到的声波频率，基于多普勒效应计算以得到声波在介质中的传播速度，再根据所述对应关系获知计算得到的声波在介质中的传播速度所对应的物质的材质是否为残留物。

8.根据权利要求5至7任一项所述的装置，其特征在于，

所述声波源、频率探测器以及控制器中的任何一个或多个，设置于操控基板的机械手上。

9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，在确定收到的用于检测残留物的有用信息所对应的物质的材质为残留物时，所述控制器还用于发出告警，和/或控制机械手对基板进行操控。

10.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述检测信号接收器和控制器相连，所述控制器为机械手控制芯片。