[实用新型]一种基板上残留物的检测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及液晶显示技术，特别涉及一种基板上残留物的检测装置。

背景技术

在制造液晶显示器(LCD)的过程中，需要沉积薄膜，再涂覆光刻胶，曝光显影制作图案，然后进行刻蚀工艺得到相应图案，最后再剥离掉光刻胶。这就要求每次的刻蚀工艺后，能够从玻璃基板上完全剥离需要剥离的光刻胶，以免残留的光刻胶等残留物污染沉积设备，影响薄膜的品质。

目前，通常通过肉眼检测玻璃基板上需要剥离的光刻胶是否完全剥离，这种操作方式的准确率低，并且耗时长。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种基板上残留物的检测装置，以提高基板上的残留物检测的准确率。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种基板上残留物的检测装置，该装置包括检测信号发射源、检测信号接收器和控制器；其中，

所述检测信号发射源，用于向基板发射波信号；

所述检测信号接收器，用于接收基板所反馈的波信号，并将收到的波信号中用于检测残留物的有用信息发送给控制器；

所述控制器中预先设置有用于检测残留物的有用信息与物质的材质之间的对应关系，所述控制器用于根据该对应关系确定收到的用于检测残留物的有用信息所对应的物质的材质是否为残留物。

上述方案中，所述检测信号发射源为光源，用于发射光；

所述检测信号接收器为光电传感器，用于接收所述光源被基板反射后所发出的光信号，并将收到的光信号转换为电信号，再将该电信号发送给所述控制器。

上述方案中，所述控制器中预先设置的所述对应关系为：电信号的大小与物质的材质之间的对应关系。

上述方案中，所述光源、光电传感器以及控制器中的任何一个或多个，设置于操控基板的机械手上。

上述方案中，所述检测信号发射源为声波源，用于发射声波；

所述检测信号接收器为频率探测器，用于接收所述声波源经过基板传播后反馈的声波，再将收到的声波的频率发送给控制器。

上述方案中，所述控制器中预先设置的所述对应关系为：

声波在介质中的传播速度与物质的材质之间的对应关系，或

声波频率与物质的材质之间的对应关系。

上述方案中，所述控制器中预先设置的所述对应关系为声波在介质中的传播速度与物质的材质之间的对应关系时，控制器用于：

根据收到的声波频率，基于多普勒效应计算以得到声波在介质中的传播速度，再根据所述对应关系获知计算得到的声波在介质中的传播速度所对应的物质的材质是否为残留物。

上述方案中，所述声波源、频率探测器以及控制器中的任何一个或多个，设置于操控基板的机械手上。

上述方案中，在确定收到的用于检测残留物的有用信息所对应的物质的材质为残留物时，所述控制器还用于发出告警，和/或控制机械手对基板进行操控。

上述方案中，所述检测信号接收器和控制器相连，所述控制器为机械手控制芯片。

可见，由于检测信号发射源能够向基板发射波信号；检测信号接收器能够接收基板所反馈的波信号，并将收到的波信号中用于检测残留物的有用信息发送给控制器；再加上控制器能够根据预先设置的用于检测残留物的有用信息与物质的材质之间的对应关系，确定收到的用于检测残留物的有用信息所对应的物质的材质是否为残留物。因此，本实用新型提供的基板上残留物的检测装置，能够自动实现基板上的残留物检测，相比人工操作而言能够明显提高准确率，减少耗时。

附图说明

图1为本实用新型一实施例的检测装置检测玻璃基板上残留物的原理示意图；

图2为本实用新型另一实施例的检测装置检测玻璃基板上残留物的原理示意图；

图3为本实用新型一实施例的玻璃基板上残留物的检测装置；

附图标记说明：

1、机械手；2、玻璃基板；3、光源；4、光电传感器；5、控制器；6、声波源；7、频率探测器；8、检测信号发射源；9、检测信号接收器。

具体实施方式

在实际应用中，光照射到物质表面后通常会发生折射和反射。针对不同的物质，所折射的光的光强不同，所反射的光的光强也不同。

基于上述原理，可以进行如图1所示的设置。图1中，在用于操控玻璃基板2的机械手1上设置光源3、光电传感器4和控制器5，光电传感器4可以和控制器5相连。