[实用新型]提高硅片电性能的退火炉网带有效
| 申请号： | 201220244743.X | 申请日： | 2012-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN202709715U | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 王煜辉 | 申请（专利权）人： | 常州华盛恒能光电有限公司 |
| 主分类号： | F27B9/30 | 分类号： | F27B9/30;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京市惠诚律师事务所 11353 | 代理人： | 王美华 |
| 地址： | 213200 江苏省常州市金*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及单晶、多晶硅片生产用退火炉，特别涉及一种提高硅片电性能的退火炉网带，包括网带本体，网带本体的上表面设有等间隔的凸起，相邻两个凸起之间的间隔为2cm～8cm，凸起凸出网带本体的高度大致相同，凸起凸出网带本体的高度为0.5cm～1.5cm；凸起截面为倒V形。本实用新型提高硅片电性能的退火炉网带，每隔2cm～8cm网带上凸0.5cm～1.5cm，减少了网带与硅片的接触，在高温退火时能充分燃烧硅片中的杂质，达到了降低成本、减少污染、提高产能的效果和目的。 | ||
| 搜索关键词： | 提高 硅片 性能 退火炉 | ||
【主权项】：
一种提高硅片电性能的退火炉网带，包括网带本体（1），其特征在于：所述的网带本体（1）的上表面设有等间隔的凸起（2），相邻两个凸起（2）之间的间隔为2cm～8cm，所述的凸起（2）凸出网带本体（1）的高度大致相同，所述的凸起（2）凸出网带本体（1）的高度为0.5cm～1.5cm。
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