[实用新型]一种晶圆承载盒

摘要

本实用新型公开了一种晶圆承载盒，包括盒体和把手，把手位于盒体的顶部，盒体的内侧壁上设置有数排载台，盒体上设置有包括支撑块、连杆和挡块的挡料机构；连杆与挡块呈垂直设置，连杆的一端与支撑块活动连接，支撑块固设在盒体的底部；盒体的内侧壁上设置有与载台相垂直的容置槽，容置槽的下端设置有与其连通的通槽，挡块位于容置槽中，连杆的另一端位于通槽中；挡块上设置有与载台相对应的凸台，每两个临近的载台底部之间的距离与每两个临近的凸台底部之间的距离相等。该实用新型将原来的安全栓换成了挡料机构，挡块上升，装入晶圆，挡块下降，挡住晶圆，只需轻轻拨动连杆即可，不仅使用效果好、操作简单，而且不易损坏。

主权项

一种晶圆承载盒，包括盒体和把手，所述把手位于所述盒体的顶部，所述盒体的内侧壁上设置有数排载台，其特征在于，所述盒体上设置有挡料机构；所述挡料机构包括支撑块、连杆和挡块，所述连杆与所述挡块呈垂直设置，所述连杆的一端与所述支撑块活动连接，所述支撑块固设在所述盒体的底部；所述盒体的内侧壁上设置有与所述载台相垂直的容置槽，所述容置槽的下端设置有与其连通的通槽，所述挡块位于所述容置槽中，所述连杆的另一端位于所述通槽中；所述挡块上设置有与所述载台相对应的凸台。