[实用新型]用于硅片制绒的化学处理槽装置有效
| 申请号： | 201220177764.4 | 申请日： | 2012-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN202643918U | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 杨华;余义;宋光华;李庄 | 申请（专利权）人： | 上澎太阳能科技(嘉兴)有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C23F1/08 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠 |
| 地址： | 314031 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于硅片制绒的化学处理槽装置，其包括化学处理内槽，所述内槽底部设置有加热器，所述内槽连接一外槽，使得化学处理内槽中的腐蚀液溢出到外槽，避免了由此造成的污染，所述内槽和所述外槽通过循环泵加压使得所述外槽中的液体回到所述内槽中，由此提高了腐蚀液的利用率，减小了腐蚀液的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 硅片 化学 处理 装置 | ||
【主权项】：
用于硅片制绒的化学处理槽装置，其包括化学处理内槽，所述内槽底部设置有加热器，其特征在于，所述内槽连接一外槽。
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