[实用新型]一种水洗装置及刻蚀设备

摘要

本实用新型公开了一种刻蚀设备的水洗装置，包括第一水洗室，第一水洗室内部设有用于浸泡基板的水洗槽。基板在进入水洗槽时，水洗槽内的水瞬间覆盖基板表面，从而将整个基板快速浸泡；由于基板整个浸泡于水洗槽内的水中，且水洗槽内的水量足够多，能够保证基板表面的刻蚀液保持均匀的稀释状态。基板在浸泡过程中，基板表面携带的刻蚀液被均匀稀释，基板残留的刻蚀液的刻蚀速率加速均匀，因此，本实用新型提供的水洗装置能够均匀地对基板残留的刻蚀液进行稀释，从而提高基板刻蚀的坡度角的均匀性，提高产品质量。另外，本实用新型还提供了一种应用了上述水洗装置的刻蚀设备。

主权项

一种刻蚀设备的水洗装置，包括第一水洗室，其特征在于，所述第一水洗室内部设有用于浸泡基板的水洗槽；所述水洗槽的第一侧壁设有与所述第一水洗室的进口相对的基板进口，所述水洗槽的第二侧壁设有与所述第一水洗室的出口相对的基板出口，且所述基板进口设有进口开关门，所述基板出口设有出口开关门；所述基板进口和所述基板出口的上端低于所述水洗槽的溢流高度；所述第一水洗室内的多个传动滚轴形成的传动通路贯穿所述基板进口和所述基板出口。