[实用新型]真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置有效
| 申请号： | 201220150672.7 | 申请日： | 2012-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN202543311U | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 庞厚星 | 申请（专利权）人： | 庞厚星 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 大连科技专利代理有限责任公司 21119 | 代理人： | 龙锋 |
| 地址： | 116081 辽宁省大*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置，包括太阳轮、内侧行星轮、过渡行星轮、外侧行星轮、齿圈、齿圈限位杆、行星架和行星架固定装置。太阳轮安装在行星架的中心位置上，所述内侧行星轮、过渡行星轮和外侧行星轮各为等半径放射性排列在太阳轮和齿圈之间，齿圈限位杆固定于齿圈上，行星架通过行星架固定装置固定。本实用新型是一种真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置，实现了三轴匀速连转（公转、自转、旋转）功能；真空离子镀三轴匀速连转便捷镀膜装置可任意安装在活动轴的轴向任意位置，数量不限；取消拨叉，无拨叉定位之必要；旋转工作盘安装被镀部件可同时上装或下挂亦可同时进行，简化安装、取下部件作业；充分利用有效空间，倍增自转轴数量。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 离子镀 匀速 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置，其特征在于：包括太阳轮、内侧行星轮、过渡行星轮、外侧行星轮、齿圈、齿圈限位杆、行星架和行星架固定装置，太阳轮安装在行星架的中心位置上，所述内侧行星轮、过渡行星轮和外侧行星轮分别等半径放射性排列在太阳轮和齿圈之间，齿圈限位杆固定于齿圈上，行星架通过行星架固定装置固定。
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