[实用新型]真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及的是一种真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置。

背景技术

目前，真空离子镀膜机的工作转盘有三轴：第1旋转轴为大旋转工作盘轴，第2旋转轴为活动转轴，第3旋转轴为旋转工作盘的被镀部件装置轴，其结构原理为减速马达带动大旋转工作盘轴，经过齿轮传动使活动转轴旋转，活动转轴上安装有旋转工作盘，旋转工作盘外圈有若干正菱形可安装被镀部件的旋转轴，正菱形可安装被镀部件的旋转轴在固定于固定轴拨叉14拨动下进行角位移（若旋转体为六方型则工作盘每旋转一周，旋转体转动60度，依次若为十二方则工作盘每旋转一周，旋转体旋转30度，以此类推）旋转到位即停止，等待下一次拨动。上述装置的弊端是正菱形可安装被镀部件的旋转轴不是连续转动而是间歇转动，不能保证被镀部件在任意时刻都能均匀地受到离子束的轰击（即只能实现匀速公转、匀速自转、不能实现匀速旋转），并且第3旋转轴只能位于旋转工作盘的等半径一圈。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种可实现三轴匀速连转的真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置。

本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案是：一种真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置，包括太阳轮、内侧行星轮、过渡行星轮、外侧行星轮、齿圈、齿圈限位杆、行星架和行星架固定装置，太阳轮安装在行星架的中心位置上，所述内侧行星轮、过渡行星轮和外侧行星轮各为等半径放射性排列在太阳轮和齿圈之间，齿圈限位杆固定于齿圈上，行星架通过行星架固定装置固定。

所述齿圈限位杆相对于固定轴不动，齿圈、行星架相对于太阳轮差速旋转。

所述行星架上端设有上装装置定位孔。

所述行星架下端设有下挂装置定位孔。

所述上装装置定位孔和下挂装置定位孔与内侧行星轮、过渡行星轮和外侧行星轮各共为一体。

本实用新型是一种真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置，实现了三轴匀速连转（公转、自转、旋转）功能；三轴匀速连转便捷镀膜装置可任意安装在活动轴的轴向任意位置，数量不限；取消拨叉，无拨叉定位之必要；旋转工作盘安装被镀部件可同时上装或下挂亦可同时进行，简化安装、取下部件作业；充分利用有效空间，倍增自转轴数量。

附图说明

图1是本实用新型一种真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置的主视图。

图2是本实用新型一种真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置的俯视图。

图3是本实用新型一种真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置的侧视图。

图4是本实用新型一种真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置的立体图。

图5是本实用新型一种真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置的工作转架示意图。

具体实施方式

如图1、图2、图3和图4所示，真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置，就是太阳轮与齿圈共同输出自转所需力矩且等距倍增设置旋转轴的一种匀速连转装置，包括太阳轮1、内侧行星轮2、过渡行星轮3、外侧行星轮4、齿圈5、齿圈限位杆8、行星架6和行星架固定装置9，太阳轮1安装在行星架6的中心位置上，。内侧行星轮2、过渡行星轮3和外侧行星轮4各为等半径放射性排列在太阳轮1和齿圈5之间，齿圈限位杆8固定于齿圈5上，行星架6通过行星架固定装置9固定，太阳轮1力的传递由活动轴传出的力矩通过太阳轮1带动内侧行星轮2，然后传递给过渡行星轮3，再传递给外侧行星轮4，由外侧行星轮4将力矩传递给齿圈5，此时因齿圈5的齿圈限位杆8与大旋转工作盘上的固定轴15相互之间没有位移运动，因而齿圈5相对于太阳轮1具有旋转运动，由齿圈5再将力矩传递给相邻外侧行星轮4，再传递给相邻的过渡行星轮3。联动便捷轴组包括下挂装置定位孔7、上装装置定位孔10单独与内侧行星轮2、过渡行星轮3、外侧行星轮4各共为一体，所以当第1旋转轴11为大旋转工作盘轴，第2旋转轴12为活动转轴匀速转动时，第3旋转轴13为旋转工作盘的被镀部件装置轴（联动便捷轴组）也随之匀速转动（旋转），从而实现三轴匀速连转，又因为力的传递是太阳轮1由内向外传递给齿圈5，同时再将力矩传递给相邻的外侧行星轮4及相邻的过渡行星轮3，因而不仅仅外侧齿轮4实现了匀速旋转功能，同时内侧行星轮2、过渡行星轮3、也随之匀速旋转。