[实用新型]真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置有效
| 申请号： | 201220150672.7 | 申请日： | 2012-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN202543311U | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 庞厚星 | 申请（专利权）人： | 庞厚星 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 大连科技专利代理有限责任公司 21119 | 代理人： | 龙锋 |
| 地址： | 116081 辽宁省大*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 离子镀 匀速 镀膜 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置，其特征在于：包括太阳轮、内侧行星轮、过渡行星轮、外侧行星轮、齿圈、齿圈限位杆、行星架和行星架固定装置，太阳轮安装在行星架的中心位置上，所述内侧行星轮、过渡行星轮和外侧行星轮分别等半径放射性排列在太阳轮和齿圈之间，齿圈限位杆固定于齿圈上，行星架通过行星架固定装置固定。
2.根据权利要求1所述的一种真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置，其特征在于：所述齿圈限位杆相对于固定轴不动，齿圈、行星架相对于太阳轮差速旋转。
3.根据权利要求1所述的一种真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置，其特征在于：所述行星架上端设有上装装置定位孔。
4.根据权利要求1所述的一种多弧离子镀三轴匀速连转镀膜装置，其特征在于：所述行星架下端设有下挂装置定位孔。
5.根据权利要求3或4所述的一种真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置，其特征在于：所述上装装置定位孔和下挂装置定位孔与内侧行星轮、过渡行星轮和外侧行星轮各共为一体。
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