[实用新型]直线电机装片机有效
| 申请号: | 201220065846.X | 申请日: | 2012-02-27 |
| 公开(公告)号: | CN202473867U | 公开(公告)日: | 2012-10-03 |
| 发明(设计)人: | 徐银森;李承峰;胡汉球;刘建峰;苏建国;吴华 | 申请(专利权)人: | 吴华 |
| 主分类号: | H01L21/58 | 分类号: | H01L21/58 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 226006 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本实用新型提供了一种直线电机装片机,具有控制部件、X轴轨道、Y轴轨道、真空泵和吸头等部件。其吸头连接在水平的X轴上并能够沿X轴左右移动,其移动是由控制部件控制的电机A驱动的;X轴连接在竖向的Y轴上并能够沿Y轴上下移动,其移动是由控制部件控制的电机B驱动的;电机A或电机B中有一个或者两个是直线电机,不是直线电机的电机是伺服电机。采用吸头将芯片拾取后转移到引线框架上,实现芯片与引线框架的待贴片位置的对准和绑定;通过控制部件的控制,直线电机能够精确并快速移动到预定的位置,从而保证了很高的装片精度和装片效率。 | ||
| 搜索关键词: | 直线 电机 装片机 | ||
【主权项】:
一种直线电机装片机,具有控制部件(3)、X轴轨道(5)、Y轴轨道(1)、真空泵和吸头(6),能够将微电子芯片装载到引线框架上;其吸头连接在水平的X轴轨道(5)上并能够沿X轴轨道(5)左右移动,其移动是由控制部件(3)控制的电机A(4)驱动的;X轴轨道(5)垂直连接在竖向的Y轴轨道(1)上并能够沿Y轴轨道(1)上下移动,其移动是由控制部件(3)控制的电机B(2)驱动的;其特征在于:电机A(4)或电机B(2)中有一个或者两个是直线电机,由控制部件(3)分别连接控制。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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