[实用新型]直线电机装片机有效

专利信息
申请号: 201220065846.X 申请日: 2012-02-27
公开(公告)号: CN202473867U 公开(公告)日: 2012-10-03
发明(设计)人: 徐银森;李承峰;胡汉球;刘建峰;苏建国;吴华 申请(专利权)人: 吴华
主分类号: H01L21/58 分类号: H01L21/58
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 226006 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 直线 电机 装片机
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及集成电路芯片的装片机,特别指采用直线电机驱动吸头移动的装片机。 

背景技术

在集成电路装片机中,装片部件是其核心部件。装片过程涉及芯片的拾取、转移、对准和放置。通常是依靠真空吸头吸取,依靠电机驱动吸头在X轴、Y轴上移动转移和对准位置。原来采用的普通电机或伺服电机移动是机械式或半自动式的,对准精度不高,影响装片质量。 

专利申请号为200710144854.7的“基于双直线电机的高速高精度微冲压驱动系统”,基于双直线电机的高速高精度微冲压驱动系统,它涉及一种微型零件高速高精度微冲压成形驱动设备。本发明可解决传统成形设备的驱动装置,无法满足零件微塑性成形的问题。两个机架(2)与底座(1)的左、右端固接,两个支架 (3)与两个机架(2)固接,滑块(8)装在两个支架(3)之间,滑块(8)的前、后端对称设置有直线电机(4),直线电机(4)的初级(14)与支架(3)固接,直线电机(4)的次级(13)与滑块(8)固接,滑块(8)上固装有四条导轨(5),导轨(5)与导轨滑块(6)的导轨滑槽(11)滑动配合,导轨滑块(6)与支架(3)固接,四条导轨(5)的正上方设置有与支架(3)固接的气动制动器(7),光栅尺(9)固装在滑块(8)上,光栅尺探头 (10)靠近光栅尺(9)设置且固装在机架(2)上。本发明能实现低成本、大批量微塑性零件成形。该双直线电机技术可资借鉴,用于装片机。 

发明内容

实用新型目的:本实用新型克服传统装片机装片位置不够到位的缺陷,提供一种通过数控精准对准的直线电机装片机。 

技术方案:本实用新型的直线电机装片机,具有控制部件、X轴轨道、Y轴轨道、真空泵和吸头,能够将微电子芯片装载到引线框架上;其吸头连接在水平的X轴轨道上并能够沿X轴轨道左右移动,其移动是由控制部件控制的电机A驱动的;X轴轨道垂直连接在竖向的Y轴轨道上并能够沿Y轴轨道上下移动,其移动是由控制部件控制的电机B驱动的;电机A或电机B中有一个或者两个是直线电机,由控制部件分别连接控制。 

电机A或电机B中,不是直线电机的那个电机可以是伺服电机。 

电机A或电机B可以是功率为30-600W的直线电机。 

有益效果:本实用新型通过控制部件的自动控制,采用吸头将芯片拾取后转移到引线框架上,实现芯片与引线框架的待贴片位置对准和绑定;两方向的直线电机能够精确并快速移动到预定的位置,从而保证了很高的装片精度和装片效率。 

附图说明

附图是本实用新型的的一个剖面结构示意图; 

图中:1、Y轴轨道;2、电机B;3、控制部件;4、电机A;5、X轴轨道;6、吸头;7、基座。

具体实施方式

选取Y轴轨道1、电机B2、控制部件3、电机A4、X轴轨道5、连接真空泵的吸头6、基座7。 

按照附图连接有关零部件,所有零部件安装在装片机的基座7上。 

电机A4、电机B2两个都是直线电机,由控制部件3分别连接控制。 

电机A4是功率为100W的直线电机,电机B2功率为200W的直线电机。 

吸头6连接在水平的X轴轨道5上并能够沿X轴左右移动,其移动是由控制部件3控制的电机A4驱动的;X轴轨道5垂直连接在竖向的Y轴轨道1上,并能够沿Y轴上下移动,其移动是由控制部,3控制的电机B2驱动的。该机器能够将微电子芯片精确装载到基座7上放置的引线框架中。 

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