[发明专利]脂环族单体，包含该单体的聚合物以及包含所述聚合物的光致抗蚀剂组合物

摘要

具有式I结构的单体：式中，R¹,R²和R³各自独立地是C_1-30单价有机基团，R¹,R²和R³各自独立地是未取代的，或包括卤素、腈、醚、酯、酮、醇，或者是包括至少一种上述官能团的组合；R⁴包括H,F,C_1-4烷基，或C_1-4氟代烷基；A是单键或二价连接基团，其中是A未取代的，或被取代而包括卤素、腈、醚、酯、酮、醇，或者包括至少一种上述官能团的组合；m和n各自独立地是1-8的整数；以及x是0至2n+2，y是0至2m+2。

主权项

1.一种单体，具有式I的结构：式中R¹,R²和R³各自独立地是C_1-30单价有机基团，R¹,R²和R³各自独立地是未取代的，或包括卤素、腈、醚、酯、酮、醇，或者包括至少一种上述官能团的组合；R⁴包括H,F,C_1-4烷基或C_1-4氟代烷基；A是单键或二价连接基团，其中A是未取代的，或被取代而包括卤素、腈、醚、酯、酮、醇，或者包括至少一种上述官能团的组合；m和n各自独立地为1-8的整数；和x是0至2n+2，y是0至2m+2。