[发明专利]基板处理装置有效
| 申请号： | 201210580077.1 | 申请日： | 2012-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN103209578A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 佐藤利道;冈田笃史 | 申请（专利权）人： | 雅马哈发动机株式会社 |
| 主分类号： | H05K13/04 | 分类号： | H05K13/04 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 穆德骏;谢丽娜 |
| 地址： | 日本静冈*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板处理装置，该基板处理装置包括：头部单元，对基板进行规定的作业；移动装置，具有导轨和沿着所述导轨移动的滑动部，并且使所述头部单元沿着一轴方向移动；其中，所述头部单元以至少一部分从所述滑动部的移动方向的端面向外侧突出的状态固定于所述滑动部。由此，不进行复杂的控制也能够使头部单元移动到相对于导轨的端面突出在外侧的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种基板处理装置，其特征在于包括：头部单元，对基板进行规定的作业；移动装置，具有导轨和沿着所述导轨移动的滑动部，并且使所述头部单元沿着一轴方向移动；其中，所述头部单元以该头部单元的至少一部分从所述滑动部的移动方向的端面向外侧突出的状态固定于所述滑动部。
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