[发明专利]使用干膜光致抗蚀剂在管芯顶部上沉积荧光剂在审

专利信息
申请号: 201210576721.8 申请日: 2012-12-26
公开(公告)号: CN103187516A 公开(公告)日: 2013-07-03
发明(设计)人: 梅泽群;闫先涛 申请(专利权)人: 里德安吉公司
主分类号: H01L33/50 分类号: H01L33/50
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 黄志华
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明涉及使用干膜光致抗蚀剂在管芯顶部上沉积荧光剂。一种用于在多个LED管芯上沉积一层含有荧光剂的材料的方法包括,在胶带上布置具有多个开口的模板,以及在模板的多个开口中的一个开口中布置多个LED管芯中的每个LED管芯。该方法还包括在模板和多个LED管芯上布置图案化的干膜光致抗蚀剂。光致抗蚀剂层具有多个开口,该多个开口被配置成露出各个LED管芯的上表面。然后,含有荧光剂的材料被布置在各个LED管芯的露出的上表面上。该方法还包括去除光致抗蚀剂层和模板。
搜索关键词: 使用 干膜光致抗蚀剂 管芯 顶部 沉积 荧光
【主权项】:
一种用于在多个LED管芯上沉积一层含有荧光剂的材料的方法,所述方法包括:在胶带上布置具有多个开口的模板;将多个LED管芯中的每个LED管芯分别布置在所述模板的多个开口中的一个开口中;在所述模板和所述多个LED管芯上形成图案化的光致抗蚀剂层,该光致抗蚀剂层具有被配置成露出各个LED管芯的上表面的多个开口;在所述各个LED管芯的露出的上表面上沉积含有荧光剂的材料;去除所述光致抗蚀剂层;以及去除所述模板。
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