[发明专利]一种透明导电 TiO2/Ag/TiO2复合薄膜的制备方法

摘要

本发明涉及一种透明导电TiO2/Ag/TiO2复合薄膜的制备方法，属于薄膜材料及薄膜光学领域。在多层TiO2/Ag/TiO2复合薄膜结构中，掺杂的TiO2层采用溶胶-凝胶涂布的方法制备，与Ag层之间不需要添加其他界面优化层，可见区最大透过率超过90%，电阻率小于9*10-5Ω·cm。本发明工艺简单，成本低廉，通过掺杂，实现低电阻率、高透过率TiO2/Ag/TiO2复合薄膜，适合大面积工业化生产。

主权项

一种透明导电TiO2/Ag/TiO2复合薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：将基底用洗洁精水溶液、无水乙醇、乙醚、丙酮、去离子水等清洗干净；步骤2：将钛酸四丁酯和乙酸、无水乙醇搅拌混合，得到A溶液；将去离子水、无水乙醇、掺杂组分混合搅拌，得到B溶液；所述掺杂组分为Al、W、V、Nd、F的水溶性化合物中的一种或几种；步骤3：将步骤2中B溶液滴加入A溶液中，搅拌混合均匀，形成溶胶；步骤4：将步骤3中得到的溶胶在室温下陈化24小时以上，得到溶胶‑凝胶；步骤5：将步骤4中溶胶‑凝胶涂布在步骤1的基底上；步骤6：将步骤5得到的薄膜进行热处理，空气中热处理温度为50‑300度，保温时间为10‑30分钟，然后自然冷却；步骤7：将步骤6中得到的薄膜放入电子束设备中蒸发一层Ag膜；步骤8：将步骤4中溶胶‑凝胶涂布在步骤7得到的薄膜上；步骤9：将步骤8得到的薄膜进行热处理，空气中热处理温度50‑300度，保温时间为10‑30分钟，自然冷却。