[发明专利]一种基于多组独立驱动解耦控制的六自由度磁浮微动台

摘要

基于多组独立驱动解耦控制的六自由度磁浮微动台属于半导体制造装备；该装置包括微动台底座、载物台以及在二者之间呈等边三角形布置的三组相同结构的独立驱动装置；每组独立驱动均可以产生水平和垂向驱动力且具有永磁体磁浮重力补偿功能；在微动台底座和载物台中心位置处对应固装平面光栅读数头和平面光栅尺，在微动台底座边缘处布置三个或多个电容传感器，实现六自由度的解耦测量；该装置具有结构紧凑，易于加工装配、发热量小，水平驱动力大的优点，适用于光刻机工件台水平高速高加速运动的工作需求和严苛的恒温环境需求。

主权项

一种基于多组独立驱动解耦控制的六自由度磁浮微动台，其特征在于所述微动台包括微动台底座(1)和载物台(2)，在微动台底座(1)和载物台(2)之间呈等边三角形配置安装第一独立驱动(3A)、第二独立驱动(3B)和第三独立驱动(3C)；在微动台底座(1)中心位置处、位于第一、二、三独立驱动(3A、3B、3C)内侧部位固装平面光栅读数头(5)，且在载物台(2)中心位置对应布置平面光栅尺(6)，在微动台底座(1)边缘处布置三个以上电容位移传感器(4)；所述的第一独立驱动(3A)包括第一独立驱动动子磁钢(3A‑1)、第一独立驱动定子磁钢I(3A‑2)、第一独立驱动定子磁钢II(3A‑3)、第一独立驱动定子线圈I(3A‑4)和第一独立驱动定子线圈II(3A‑5)，其中第一独立驱动动子磁钢(3A‑1)固装在载物台(2)底面上，第一独立驱动定子磁钢I(3A‑2)固装在微动台底座(1)顶面上且位于第一独立驱动动子磁钢(3A‑1)的正下方，第一独立驱动定子磁钢II(3A‑3)固装在微动台底座(1)顶面上且位于第一独立驱动动子磁钢(3A‑1)正下方的向外错开位置处，第一独立驱动定子线圈I(3A‑4)固装在第一独立驱动定子磁钢II(3A‑3)顶面上，第一独立驱动定子线圈II(3A‑5)固装在第一独立驱动定子磁钢I(3A‑2)顶面上；所述的第二独立驱动(3B)和第三独立驱动(3C)结构和安装方式与第一独立驱动(3A)相同；所述的第一独立驱动定子磁钢I(3A‑2)与第一独立驱动动子磁钢(3A‑1)的磁极方向相反，第一独立驱动定子磁钢II(3A‑3)与第一独立驱动动子磁钢(3A‑1)的磁极方向相同。