[发明专利]一种基于多组独立驱动解耦控制的六自由度磁浮微动台有效
| 申请号： | 201210574176.9 | 申请日： | 2012-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN103019046A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 谭久彬;杨远源;王雷 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 独立 驱动 控制 自由度 微动 | ||
1.一种基于多组独立驱动解耦控制的六自由度磁浮微动台，其特征在于所述微动台包括微动台底座(1)和载物台(2)，在微动台底座(1)和载物台(2)之间呈等边三角形配置安装第一独立驱动(3A)、第二独立驱动(3B)和第三独立驱动(3C)；在微动台底座(1)中心位置处、位于第一、二、三独立驱动(3A、3B、3C)内侧部位固装平面光栅读数头(5)，且在载物台(2)中心位置对应布置平面光栅尺(6)，在微动台底座(1)边缘处布置三个以上电容位移传感器(4)；所述的第一独立驱动(3A)包括第一独立驱动动子磁钢(3A-1)、第一独立驱动定子磁钢I(3A-2)、第一独立驱动定子磁钢II(3A-3)、第一独立驱动定子线圈I(3A-4)和第一独立驱动定子线圈II(3A-5)，其中第一独立驱动动子磁钢(3A-1)固装在载物台(2)底面上，第一独立驱动定子磁钢I(3A-2)固装在微动台底座(1)顶面上且位于第一独立驱动动子磁钢(3A-1)的正下方，第一独立驱动定子磁钢II(3A-3)固装在微动台底座(1)顶面上且位于第一独立驱动动子磁钢(3A-1)正下方的向外错开位置处，第一独立驱动定子线圈I(3A-4)固装在第一独立驱动定子磁钢II(3A-3)顶面上，第一独立驱动定子线圈II(3A-5)固装在第一独立驱动定子磁钢I(3A-2)顶面上；所述的第二独立驱动(3B)和第三独立驱动(3C)结构和安装方式与第一独立驱动(3A)相同；所述的第一独立驱动定子磁钢I(3A-2)与第一独立驱动动子磁钢(3A-1)的磁极方向相反，第一独立驱动定子磁钢II(3A-3)与第一独立驱动动子磁钢(3A-1)的磁极方向相同。
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