[发明专利]一种判别晶向为<111>抛光衬底片定位面有效性的方法无效
| 申请号： | 201210569613.8 | 申请日： | 2012-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN103048335A | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 毛卫中;楼春兰;王莲芳;汪新华;吴飞 | 申请（专利权）人： | 开化县质量技术监督检测所 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01B11/26 |
| 代理公司： | 杭州之江专利事务所(普通合伙) 33216 | 代理人： | 林蜀 |
| 地址： | 324300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种判别晶向为<111>抛光衬底片定位面有效性的方法，该方法是先取一片晶向为<111>抛光衬底片，用Sirtl腐蚀液腐蚀1～3分钟，然后将腐蚀后的晶向为<111>抛光衬底片的定位面在平面上任意角度定位，通过金相显微镜观察，会看到有黑色的等边三角形的缺陷腐蚀坑；当黑色的等边三角形顶角与定位面的任意角度按顺时针方向相差90°时，则可判定该抛光衬底片的主定位面正确；当黑色的等边三角形顶角与定位面的任意角度按逆时针方向相差90°时，则可判定该抛光衬底片的主定位面错误。采用本发明，可以快速简便的判别晶向为<111>抛光衬底片定位面有效性，又能防止晶向为<111>抛光衬底片的表面沾污。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 判别 111 抛光 衬底 定位 有效性 方法 | ||
【主权项】：
一种判别晶向为<111>抛光衬底片定位面有效性的方法，其特征在于先取一片晶向为<111>抛光衬底片，用Sirtl腐蚀液腐蚀1～3分钟，然后将腐蚀后的晶向为<111>抛光衬底片的定位面在平面上任意角度定位，通过金相显微镜观察，会看到有黑色的等边三角形的缺陷腐蚀坑；当黑色的等边三角形顶角与定位面的任意角度按顺时针方向相差90°时，则可判定该抛光衬底片的主定位面正确；当黑色的等边三角形顶角与定位面的任意角度按逆时针方向相差90°时，则可判定该抛光衬底片的主定位面错误。
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