[发明专利]一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统无效
| 申请号： | 201210567620.4 | 申请日： | 2012-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN102978690A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 滑喜宝 | 申请（专利权）人： | 苏州工业园区杰士通真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215212 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统，包括腔室主体水冷系统，上炉盖水冷系统和下炉盖水冷系统。此种炉体冷却系统设计简单，冷却能力强，制造成本低，换热效果更好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 蓝宝石 晶体生长 炉炉体 冷却系统 | ||
【主权项】：
一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统，包括腔室主体水冷系统，上炉盖水冷系统和下炉盖水冷系统，其特征在于，所述腔室主体水冷系统为双层筒体之间加导流槽，冷却水一进一出，所述上炉盖水冷系统为单层炉盖悬挂金属导热板，金属导热板上焊接有金属水管，冷却水一进一出，所述下炉盖水冷系统为单层炉盖支撑金属导热板，金属导热板上焊接有金属水管，冷却水一进一出。
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