[发明专利]一种阴极制备前处理装置及清洁方法有效
| 申请号： | 201210563611.8 | 申请日： | 2012-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN103094021A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 赛小锋;韦永林;刘永安;盛立志;刘哲;赵宝升 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | H01J9/12 | 分类号： | H01J9/12;H01J37/32 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 王少文 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明一种阴极制备前处理装置及清洁方法，清洁装置包括支撑筒、连接法兰、清洁装置，支撑筒下端与连接法兰绝缘连接，支撑筒上端设置有支撑筒盖，支撑筒盖上方设置有放置阴极窗的开口，清洁装置包括上圆环形电极、下圆环形电极、穿过连接法兰的两个电极引线、高压直流电源，上圆环形电极为阴极，下圆环形电极为阳极，上圆环形电极与阴极制备表面平行且与阴极制备表面同高或高于阴极制备表面，下圆环形电极与上圆环形电极平行且位于上圆环形电极下方。本发明采用两个圆环形电极产生辉光放电的装置对阴极窗表面进行清洁的装置或方法，克服了其它装置或方法的缺点，可以实现阴极表面的原子级清洁和保证表面的完整性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阴极 制备 处理 装置 清洁 方法 | ||
【主权项】：
一种阴极制备前处理装置，包括支撑筒、连接法兰、清洁装置，所述支撑筒下端与连接法兰绝缘连接，所述支撑筒上端设置有支撑筒盖，所述支撑筒盖上方设置有放置阴极窗的开口，其特征在于：所述清洁装置包括上圆环形电极、下圆环形电极、穿过连接法兰的两个电极引线、高压直流电源，所述上圆环形电极为阴极，所述下圆环形电极为阳极，所述上圆环形电极与阴极制备表面平行且与阴极制备表面同高或高于阴极制备表面，所述下圆环形电极与上圆环形电极平行且位于上圆环形电极下方；所述两个电极引线的上端分别与上圆环形电极和下圆环形电极连接，下端与高压直流电源连接；所述支撑筒上设置有气孔，所述气孔在支撑筒上的位置低于上圆环形电极高于下圆环形电极。
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