[发明专利]一种研磨液传送系统的排气系统有效
| 申请号： | 201210557416.4 | 申请日： | 2012-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN103878696A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 邵尔剑 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 张静洁;徐雯琼 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种研磨液传送系统的排气系统，包含：设置在研磨液箱体上的研磨液输入端阀门、研磨液输出端气控阀门、滚压转子以及研磨液输送软管，所述的研磨液输送软管从研磨液输出端气控阀门接出后绕过滚压转子再接入研磨液输入端阀门，滚压转子将研磨液输送软管中的空气挤出，还包含：输送软管输入端接头，所述的输送软管输入端接头设置在滚压转子和研磨液输入端阀门之间。本发明能够将换装研磨液输送软管时泄漏进入研磨液循环系统中的空气排出，保护了生产设备，大大降低了维修成本，提高了经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 传送 系统 排气 | ||
【主权项】：
一种研磨液传送系统的排气系统，包含：设置在研磨液箱体上的研磨液输入端阀门（21）、研磨液输出端气控阀门（22）、滚压转子（6）以及研磨液输送软管（1），所述的研磨液输送软管（1）从研磨液输出端气控阀门（22）接出后绕过滚压转子（6）再接入研磨液输入端阀门（21），滚压转子（6）挤压研磨液输送软管（1），将研磨液输送软管（1）中的空气挤出后将研磨液输送至研磨盘上，其特征在于，还包含：输送软管输入端接头（5），所述的输送软管输入端接头（5）设置在滚压转子（6）和研磨液输入端阀门（21）之间。
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