[发明专利]一种研磨液传送系统的排气系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种液体传输管道系统，特别涉及一种研磨液传送系统的排气系统。

背景技术

当机器研磨晶圆的数量达到120k片时，研磨液传输系统需要更换研磨液输送软管。当更换研磨液输送软管时，则需要拆下输送软管，从而会导致研磨液输送系统中的研磨液流出输送系统。这会导致在安装上新的研磨液输送软管后，空气进入研磨液输送系统。并且，研磨液输送软管中的空气由于滚压转子挤压而很难将滚压转子前端的输送软管中的空气排净，特别是用于连接研磨液输送软管的接头处。

在研磨液传送系统的排气系统中的空气会导致研磨液流量监测器监测到研磨液流量不稳定从而发出过多的警报；另外，研磨液传送系统的排气系统中的空气还会导致研磨液氧化和结晶，这会导致晶圆表面产生微小的刮伤,进而影响产品的良率。

发明内容

本发明的目的是提供一种研磨液传送系统的排气系统，能够将换装研磨液输送软管时进入研磨液循环系统中的空气排出，保护了生产设备，大大降低了维修成本，提高了经济效益。

为了实现以上目的，本发明是通过以下技术方案实现的：

一种研磨液传送系统的排气系统，包含：设置在研磨液箱体上的研磨液输入端阀门、研磨液输出端气控阀门、滚压转子以及研磨液输送软管，所述的研磨液输送软管从研磨液输出端气控阀门接出后绕过滚压转子再接入研磨液输入端阀门，滚压转子挤压研磨液输送软管，将研磨液输送软管中的空气挤出后将研磨液输送至研磨盘上，还包含：

输送软管输入端接头，所述的输送软管输入端接头设置在滚压转子和研磨液输入端阀门之间。

所述的输送软管输入端接头为三通接头，其第一端连接滚压转子，第二端连接研磨液输入端阀门，第三端通过排气管道与大气相连。

还包含：阀门，所述的阀门与输送软管输入端接头的第三端相连，将输送软管输入端接头处积压的空气释放出去。

阀门是一个在正常工作状态下关闭而在调换研磨液输送软管后打开供气体排放的手动阀门。

本发明与现有技术相比，具有以下优点：

能够将换装研磨液管道时泄漏进入研磨液循环系统中的空气排出，保护了生产设备，大大降低了维修成本，提高了经济效益。

附图说明

图1为本发明一种研磨液传送系统的排气系统的原理示意图。

具体实施方式

以下结合附图，通过详细说明一个较佳的具体实施例，对本发明做进一步阐述。

如图1所示，一种研磨液传送系统的排气系统，包含：设置在研磨液箱体上的研磨液输入端阀门21、研磨液输出端气控阀门22、滚压转子6以及研磨液输送软管1，所述的研磨液输送软管1从研磨液输出端气控阀门22接出后绕过滚压转子6再接入研磨液输入端阀门21，滚压转子6将研磨液输送软管1中的空气挤出后将研磨液输送至研磨盘上，还包含：输送软管输入端接头5，其设置在滚压转子6和研磨液输入端阀门21之间。在本实施例中，输送软管输入端接头5为三通接头，其第一端连接滚压转子6，第二端连接研磨液输入端阀门21，第三端通过排气管道与大气相连。

在本实施例中，还包含：阀门4，其与输送软管输入端接头5的第三端相连，将输送软管输入端接头5处积压的空气释放出去，该阀门4是一个在正常工作状态下关闭而在调换研磨液输送软管1后打开供气体排放的手动阀门。

当使用时，重新更换过研磨液输送软管1之后，研磨液循环系统中进入了空气，通过滚压转子6的挤压将研磨液输送软管1中的绝大部分空气排出，但是不能排净，因此，通过增加的输送软管输入端接头5和阀门4，当更换完研磨液输送软管1后由于滚压转子6挤压研磨液输送软管1导致空气集中在连接输送软管输入端接头5处。此时打开阀门4，软管输入端接头5处的空气由于研磨液输送软管1内部的压力而被排出，从而彻底排空了研磨液管道1中的空气，保护了生产设备，降低了事故率。

综上所述，本发明一种研磨液传送系统的排气系统，能够将换装研磨液管道时泄漏进入研磨液循环系统中的空气排出，保护了生产设备，大大降低了维修成本，提高了经济效益。

尽管本发明的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本发明的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本发明的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本发明的保护范围应由所附的权利要求来限定。