[发明专利]一种研磨液传送系统的排气系统有效
| 申请号： | 201210557416.4 | 申请日： | 2012-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN103878696A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 邵尔剑 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 张静洁;徐雯琼 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 传送 系统 排气 | ||
【权利要求书】：
1.一种研磨液传送系统的排气系统，包含：设置在研磨液箱体上的研磨液输入端阀门（21）、研磨液输出端气控阀门（22）、滚压转子（6）以及研磨液输送软管（1），所述的研磨液输送软管（1）从研磨液输出端气控阀门（22）接出后绕过滚压转子（6）再接入研磨液输入端阀门（21），滚压转子（6）挤压研磨液输送软管（1），将研磨液输送软管（1）中的空气挤出后将研磨液输送至研磨盘上，其特征在于，还包含：
输送软管输入端接头（5），所述的输送软管输入端接头（5）设置在滚压转子（6）和研磨液输入端阀门（21）之间。
2.如权利要求1所述的研磨液传送系统的排气系统，其特征在于，所述的输送软管输入端接头（5）为三通接头，其第一端连接滚压转子（6），第二端连接研磨液输入端阀门（21），第三端通过排气管道与大气相连。
3.如权利要求2所述的研磨液传送系统的排气系统，其特征在于，还包含：阀门（4），所述的阀门（4）与输送软管输入端接头（5）的第三端相连，将输送软管输入端接头（5）处积压的空气释放出去。
4.如权利要求3所述的研磨液传送系统的排气系统，其特征在于，阀门（4）是一个在正常工作状态下关闭而在调换研磨液输送软管（1）后打开供气体排放的手动阀门。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司，未经上海华虹宏力半导体制造有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210557416.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
