[发明专利]一种太阳能选择性吸收涂层的制备方法无效
| 申请号： | 201210554621.5 | 申请日： | 2012-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN103866231A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 李风;徐游;曾国勋 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/22;F24J2/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 510006 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种太阳能选择性吸收涂层的制备方法。本发明使用刻蚀技术，采用石英玻璃作为基底，利用刻蚀技术，在基底上刻出宽度为500nm-600nm、深度为100-150nmnm的沟槽。在带沟槽式基底上，采用真空镀膜的方法，沉积六层不同组分的金属/陶瓷多层渐变薄膜。最后在金属/陶瓷多层渐变薄膜上，使用真空蒸发镀法，沉积一层Al2O3减反射层。本发明采用沟槽式基底，可以对太阳光产生光陷阱作用，大大提升薄膜的太阳吸收率。同时使用耐高温金属W、Mo等于陶瓷形成渐变涂层，涂层在耐高温方面有了大大提升，可到达高温涂层的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能 选择性 吸收 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种太阳能选择性吸收涂层的制备方法。使用刻蚀技术，在基底上刻出宽度为500nm‑600nm、深度为100nm‑150nm的沟槽，沟槽呈规则矩齿状。
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