[发明专利]一种应用于泡生法蓝宝石单晶生长的保温结构

摘要

本发明提供了一种应用于泡生法蓝宝石单晶生长的保温结构，采用以钨或钼为材料的金属薄板作热屏，热屏包括水平式热屏、垂直式热屏和倾斜式热屏，各屏之间缝隙用钼条垂直间隔支撑。本发明能够优化蓝宝石单晶生长炉内热场分布，控制和改善炉内的轴向和径向温度梯度，从而促进晶体生长过程中凸的液固界面的形成，降低原位退火过程中晶体内部的热应力，提高晶体质量。结合泡生法的特点，本保温结构还具备其它特点：侧壁空心球的不同放置具有控制炉内温度梯度的作用，利于长晶过程中凸界面的形成，而倾斜放置的热屏则强化了炉内的热反射，对已生长出的晶体起到了烘烤作用，使晶体表面温度分布更加平缓，降低了由于热应力过高而导致晶体开裂的概率。

主权项

一种应用于泡生法蓝宝石单晶生长的保温结构，设置于不锈钢桶内，其特征是：采用以钨或钼为材料的金属薄板作热屏，所述热屏包括水平式热屏、垂直式热屏和倾斜式热屏；所述水平式热屏为中心开孔的圆环形；所述倾斜式热屏为带45°倾角的圆锥状热屏，设置于水平式热屏与坩埚之间的空间中；所述垂直式热屏为竖直圆筒状，可容纳水平式热屏和倾斜式热屏。