[发明专利]探测板组的胶合方法和夹具

摘要

本发明公开了一种用于分步投影光刻机的探测板组的胶合方法，包括①建立超净工作室和超净工作台；②在超净工作台对符合要求的基准板保护玻璃用防静电光学玻璃擦拭布蘸上酒精进行擦拭；③将保护膜贴到镀膜探测基准板镀度膜表面；④将贴好镀的膜探测基准板和保护玻璃基准板胶合成防水探测板组，以及探测板组胶合夹具。本发明保证了在加工过程中镀膜标记区域接触不到污染源，减少报废率，加工的探测板符合分步投影光刻机高质量要求。

主权项

一种用于分步投影光刻机的探测板组的胶合方法，其特征在于，该方法包括下列步骤：①建立超净工作室和超净工作台，室内温度为20～26℃±0.1℃，湿度为50～70%标准大气压下超净工作台上进行探测板保护膜和探测板组的胶合工作；②在超净工作台，工作人员带上防静电手套和口罩, 用防静电光学玻璃擦拭布蘸上酒精对基准板保护玻璃（6）进行擦拭，在擦拭过程中把镀膜探侧基准板（7）和基准板保护玻璃（6）放在100w的灯光下仔细观看表面灰尘，直到无人眼可见灰尘，把镀膜探侧基准板（7）和擦拭好的基准板保护玻璃（6）放在玻璃器皿中，防止再次污染；③从所述的玻璃器皿中取出镀膜探侧基准板（7）水平放到工作台面上，镀膜探侧基准板（7）的镀膜面向上，将保护膜（8）贴到镀膜探侧基准板（7）的镀膜面上，眼睛观察，如没有气泡，则为合格，如有气泡，则重新再贴，直到合格为止；用刀片按照镀膜探侧基准板（7）的尺寸大小切去多余保护膜； ④从玻璃器皿中取出基准板保护玻璃（6）水平放到探测板胶合夹具的基准板（5）上，使基准板保护玻璃（6）的两侧侧边紧靠探测板组胶合夹具的两个侧基准边（1），基准板保护玻璃（6）的另外两侧侧边用弹性压块（4）压紧；⑤将步棸③中贴好保护膜的镀膜探测基准板（7）水平放到基准板保护玻璃（6）的中间位置，使贴有保护膜的一面向下；镀膜探测基准板（7）的两侧边紧靠探测板组胶合夹具的上档块（2），镀膜探测基准板（7）的另外两侧边用弹性压块（4）压紧；⑥在镀膜探测基准板（7）上方水平放置配重块（3），均匀施加5～8kg重力，用双组合环氧树脂胶对镀膜探测基准板（7）与基准板保护玻璃（6）接触的四周边进行胶合处理，使胶体的宽度和高度控制在1.5～3mm之间，持续放置20～24小时，形成探测板组。