[发明专利]探测板组的胶合方法和夹具

说明书

技术领域

 本发明涉及光刻机，特别是一种用于分步投影光刻机的探测板组的胶合方法和夹具，该探测板主要用于分步投影光刻机探测标记的位置对准，该向成果直接影响到分步投影光刻机里的硅片向位光栅自动对准。

背景技术

目前欧美国家探测板加工的镀膜工序安排在零件加工之后，探测板加工没有对镀膜标记区域污染、胶合对零件加工形位的影响。基准面面形容易达到0.003mm，上下面平行度小于0.006mm的要求。而国内加工探测板的板体需要采购国外镀膜后的标准板体，加工过程要求很高防污染处理，使得加工成品率低风险大，远远不能满足90nm光刻机的要求。

发明内容

 本发明的目的在于提供一种用于分步投影光刻机的探测板组的胶合方法和夹具，对镀膜标记区域基准面进行防污染胶合保护，加工基准面面形优于0.003mm，上下面平行度小于0.006mm，使之符合光刻机向位光栅自动对准要求。

本发明的技术解决方案如下：

  一种用于分步投影光刻机的探测板组的胶合方法，其特征在于，该方法包括下列步骤：

①建立超净工作室和超净工作台，室内温度为20～26℃±0.1℃，湿度为50～70%标准大气压下超净工作台上进行探测板保护膜和测板组的胶合工作；

②在超净工作台，工作人员带上防静电手套和口罩, 用防静电光学玻璃擦拭布蘸上酒精对基准板保护玻璃进行擦拭，在擦拭过程中把镀膜探侧基准板和基准板保护玻璃放在100w的灯光下仔细观看表面灰尘，直到无人眼可见灰尘，把镀膜探侧基准板和擦拭好的基准板保护玻璃放在玻璃器皿中，防止再次污染；

③从所述的玻璃器皿中取出镀膜探侧基准板水平放到工作台面上，镀膜探侧基准板的镀膜面向上，将保护膜贴到镀膜探侧基准板的镀膜面上，眼睛观察，如没有气泡，则为合格，如有气泡，则重新再贴，直到合格为止；用刀片按照镀膜探侧基准板的尺寸大小切去多余保护膜； 

④从玻璃器皿中取出基准板保护玻璃水平放到探测板胶合夹具的基准板上，使基准板保护玻璃的两侧侧边紧靠探测板组胶合夹具的两个侧基准边，基准板保护玻璃的另外两侧侧边用弹性压块压紧；

⑤将步棸③中贴好保护膜的镀膜探测基准板水平放到基准板保护玻璃的中间位置，使贴有保护膜的一面向下；镀膜探测基准板的两侧边紧靠探测板组胶合夹具的上档块，镀膜探测基准板的另外两侧边用弹性压块压紧；

⑥在镀膜探测基准板上方水平放置配重块，均匀施加5～8kg重力，用双组合环氧树脂胶对镀膜探测基准板与基准板保护玻璃接触的四周边进行胶合处理，使胶体的宽度和高度控制在1.5～3mm之间，持续放置20～24小时，形成探测板组。

所述的胶合处理是将双组合环氧树脂胶装在双管胶抢上，打开胶筒出口保护盖，在胶筒出口安装混胶头，搬动双管胶抢沿所述的四周边连续均匀涂胶，混胶头流出胶量2～3g。

该方法还包括步骤：

⑦取下配重块，检查环氧树脂胶沿镀膜探测基准板下镀膜面间隙侵入量为1～3mm；对侵入量小于1mm是进行补胶；对侵入量大于3mm，进行去除处理后，返回到步骤②；

⑧将探测板组侵入水中检查胶合漏水情况，如胶合面有水的渗漏点，对渗漏点再次进行胶合处理；

⑨探测板组补充胶合：

用防静电光学玻璃擦拭布蘸上酒精擦干净胶合处，混胶头对准探测板组胶合处，搬动双管胶抢沿胶合四周边连续均匀涂补胶，胶体的宽度和高度控制在2.5～3.5mm之间，水平放置20～24小时； 

⑩探测板组加固胶合：

混胶头对准探测板组胶合处，搬动双管胶抢沿胶合四周边连续均匀涂补胶，使胶体的宽度和高度控制在4～5mm之间，水平放置24～26小时，获得加固探测板组；

⑾用三坐标测量仪测量步骤⑩加固探测板组的上下面平行度、面形是否符合规定；

⑿对符合规定的加固探测板组进行包装，然后放在恒温箱内五天以上，使其完全固化后待用。

所述的将探测板组侵入水中检查胶合漏水情况具体是：

将探测板组侵入水1分钟，取出观察胶合面有无水的渗漏点，如发现有水的渗漏点时，对渗漏点再次进行胶合处理；

将探测板组侵入水10分钟，取出观察胶合面有无水的渗漏点，如发现有水的渗漏点时，对渗漏点再次进行胶合处理；

将探测板组侵入水1小时，取出观察胶合面有无水的渗漏点，如发现有水的渗漏点时，对渗漏点再次进行胶合处理；

将探测板组侵入水3小时，取出观察胶合面有无水的渗漏点，如发现有水的渗漏点时，对渗漏点再次进行胶合处理；