[发明专利]显影喷涂设备及喷涂方法无效
| 申请号： | 201210524714.3 | 申请日： | 2012-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN103019047A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 赵海廷;孙亮;张治超 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;B05C5/00;B05C11/10 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种显影喷涂设备及喷涂方法，所述显影喷涂设备包括：至少一个第一喷头，用于沿第一方向朝所述基板喷涂显影液；至少一个第二喷头，用于沿第二方向朝所述基板喷涂显影液，其中所述第一方向与所述第二方向不同。通过沿不同方向朝基板喷涂显影液，相对于现有技术显影液相对基板静止，本发明所述显影喷涂设备使得显影液在基板上具有不同流动方向，从而达到基板不同区域的显影液浓度均一的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 显影 喷涂 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种显影喷涂设备，用于为基板喷涂显影液，其特征在于，包括：至少一个第一喷头，用于沿第一方向朝所述基板喷涂显影液；至少一个第二喷头，用于沿第二方向朝所述基板喷涂显影液，其中所述第一方向与所述第二方向不同。
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