[发明专利]显影喷涂设备及喷涂方法无效
| 申请号： | 201210524714.3 | 申请日： | 2012-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN103019047A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 赵海廷;孙亮;张治超 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;B05C5/00;B05C11/10 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 显影 喷涂 设备 方法 | ||
1.一种显影喷涂设备，用于为基板喷涂显影液，其特征在于，包括：
至少一个第一喷头，用于沿第一方向朝所述基板喷涂显影液；
至少一个第二喷头，用于沿第二方向朝所述基板喷涂显影液，其中所述第一方向与所述第二方向不同。
2.如权利要求1所述的显影喷涂设备，其特征在于，所述第一方向与所述第二方向之间的夹角小于90度。
3.如权利要求1或2所述的显影喷涂设备，其特征在于，所述基板相对于所述第一喷头和所述第二喷头朝第三方向移动，所述第一方向相对于所述第三方向垂直，所述第二喷头沿所述第三方向设置于所述第一喷头的一侧。
4.如权利要求3所述的显影喷涂设备，其特征在于，所述第一方向垂直于所述基板，所述第三方向平行于所述基板。
5.如权利要求1所述的显影喷涂设备，其特征在于，所述第一喷头为两个，两个所述第一喷头相互平行，且两个所述第一喷头喷出显影液的方向为所述第一方向。
6.如权利要求5所述的显影喷涂设备，其特征在于，所述第二喷头相对于所述第一喷头和所述基板倾斜设置，且所述第二喷头的喷嘴方向为朝所述第二方向。
7.如权利要求5所述的显影喷涂设备，其特征在于，所述第二喷头平行于所述第一喷头设置，且所述第二喷头的喷嘴方向为朝所述第二方向。
8.如权利要求1所述的显影喷涂设备，其特征在于，所述第一喷头和所述第二喷头的喷涂范围至少与所述基板的宽度相等。
9.一种使用权利要求1至8任一项所述显影喷涂设备的喷涂方法，其特征在于，包括步骤：
至少一个第一喷头沿第一方向朝基板喷涂显影液，同时至少一个第二喷头沿第二方向朝所述基板喷涂显影液。
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