[发明专利]一种射频放电装置及空芯光纤射频放电系统

摘要

本发明提供了一种空芯光纤射频放电系统，包括射频放电装置和气配装置；射频放电装置包括射频电源、匹配网络、电极和空芯光纤，电极包括内电极和外电极，内电极与外电极均为空芯圆柱体金属电极，内电极的外径小于外电极的内径；内电极位于外电极的内部，空芯光纤缠绕于内电极的外表面，空芯光纤的两端分别与气配装置连接；工作时，射频电源在内电极和外电极之间产生交变电场，交变电场驱动空芯光纤中的气体所含的电子往复运动，电子在运动过程中与其它粒子碰撞产生放电等离子体。本发明提供的空芯光纤射频放电系统可以在微米量级的空芯光纤绕成的类螺线管状的结构中通过射频放电的方式产生等离子体；具有方法简单、噪音低、能量损耗小、装置结构紧凑、效率高等优点。

主权项

一种射频放电装置，其特征在于，包括：射频电源，用于输出射频功率；匹配网络，输入端与所述射频电源连接，用于实现射频功率的无相移传输；电极，包括内电极和外电极，所述内电极与所述外电极均为空芯圆柱体金属电极，所述内电极的外径小于所述外电极的内径；所述内电极位于所述外电极的内部，所述内电极与所述匹配网络的输出端正极连接，所述外电极与所述匹配网络的输出端地极连接后接地；以及空芯光纤，缠绕于所述内电极的外表面，所述空芯光纤的两端分别与所述气配装置连接；工作时，射频电源在内电极和外电极之间产生交变电场，交变电场驱动空芯光纤中的气体所含的电子往复运动，电子在运动过程中与其它粒子碰撞产生放电等离子体。