[发明专利]一种射频放电装置及空芯光纤射频放电系统

权利要求书

1.一种射频放电装置，其特征在于，包括：

射频电源，用于输出射频功率；

匹配网络，输入端与所述射频电源连接，用于实现射频功率的无相移传输；

电极，包括内电极和外电极，所述内电极与所述外电极均为空芯圆柱体金属电极，所述内电极的外径小于所述外电极的内径；所述内电极位于所述外电极的内部，所述内电极与所述匹配网络的输出端正极连接，所述外电极与所述匹配网络的输出端地极连接后接地；以及

空芯光纤，缠绕于所述内电极的外表面，所述空芯光纤的两端分别与所述气配装置连接；

工作时，射频电源在内电极和外电极之间产生交变电场，交变电场驱动空芯光纤中的气体所含的电子往复运动，电子在运动过程中与其它粒子碰撞产生放电等离子体。

2.如权利要求1所述的射频放电装置，其特征在于，所述射频放电装置还包括与所述匹配网络的输出端地极连接的金属屏蔽罩，罩住匹配网络、内电极、外电极以及空芯光纤，用于屏蔽射频辐射。

3.如权利要求1所述的射频放电装置，其特征在于，根据空芯光纤的外径调整所述内电极与所述外电极的直径。

4.如权利要求1所述的射频放电装置，其特征在于，所述电极还包括位于所述内电极两端的出水口和入水口。

5.如权利要求1所述的射频放电装置，其特征在于，匹配网络与射频电源之间通过同轴线缆连接；匹配网络与电极之间通过铜带连接。

6.如权利要求1所述的射频放电装置，其特征在于，所述匹配网络包括电感、第一可调电容和第二可调电容；

电感的一端与所述射频电源连接，另一端与内电极连接；

第一可调电容的一端与所述电感的一端连接，第一可调电容的另一端接地；

第二可调电容的一端与所述电感的另一端连接，第二可调电容的另一端接地。

7.一种空芯光纤射频放电系统，包括射频放电装置和气配装置；其特征在于，所述射频放电装置为权利要求1-6任一项所述的射频放电装置。

8.如权利要求7所述的空芯光纤射频放电系统，其特征在于，所述气配装置包括：第一气室、第二气室、第一气压计、第二气压计、第一真空阀门、第三气压计、气配室、第二真空阀门、供气源、第三真空阀门、第四真空阀门、第五真空阀门、涡轮分子泵和机械泵；

机械泵作为所述气配装置的前级泵，涡轮分子泵作为所述气配装置的后级泵，空芯光纤的两端分别与第一气室和第二气室相连，第一气室由与之相连的第一气压计监测，第一气室还依次通过第一真空阀门和第四真空阀门与气配室相连；第二气室的气压由与之相连的第二气压计监测，气配室与通过第二真空阀门与多个供气源相连，第二气室还依次通过第三真空阀门和第四真空阀门与气配室相连；气配室的气压由与之相连的第三气压计监测，气配室还依次通过第四真空阀门和第五真空阀门与涡轮分子泵相连。