[发明专利]一种大行程结构的静电驱动MEMS变形镜无效
| 申请号： | 201210523639.9 | 申请日： | 2012-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN102981272A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 邱传凯;庄须叶;王强;汪为民;张铁军;熊伟;罗吉;张建飞;姚军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大行程结构的静电驱动MEMS变形镜，其中包括：镜面，为一矩形的平板镜面；上电极，为一矩形的平板上电极；梁，是含有四根矩形的柱体梁；两个锚点，分别固接于每根梁的两个端部，且两个锚点分别位于每根梁相互垂直的平面上；硅基底，在其内部是一凹形体，在凹形体的底部有一通孔；绝缘层，固接于硅基底的凹形体的表面上形成一行程腔；在行程腔的凹底部设置有下电极，下电极的导线贯穿于硅基底的通孔中；梁平行放置于上电极板和绝缘层的上部之间，上电极板通过梁和锚点固定在行程腔的上面，上电极板与镜面平行，支撑柱位于上电极板和镜面之间，上电极板通过支撑柱支撑变形镜的镜面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 行程 结构 静电 驱动 mems 变形 | ||
【主权项】：
一种大行程结构的静电驱动MEMS变形镜，其特征在于：该变形镜由支撑柱(1)、镜面(2)、上电极(3)、梁(4)、锚点(5)、绝缘层(6)、硅基底(7)、通孔(8)、下电极(9)和行程腔(10)组成，其中：镜面(2)，为一矩形的平板镜面；上电极(3)，为一矩形的平板上电极；梁(4)，是含有四根矩形的柱体梁；两个锚点(5)，分别固接于每根梁(4)的两个端部，且两个锚点(5)分别位于每根梁相互垂直的平面上；硅基底(7)，在其内部是一凹形体，在凹形体的底部有一通孔(8)；绝缘层(6)，固接于硅基底(7)的凹形体的表面上形成一行程腔(10)；在行程腔(10)的凹底部设置有下电极(9)，下电极(9)的导线贯穿于硅基底(7)的通孔(8)中；梁(4)平行放置于上电极板(3)和绝缘层(6)的上部之间，上电极板(3)通过梁(4)和锚点(5)固定在行程腔(10)的上面，上电极板(3)与镜面(2)平行，支撑柱(1)位于上电极板(3)和镜面(2)之间，上电极板(3)通过支撑柱(1)支撑变形镜的镜面(2)。
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