[发明专利]一种全自动晶体管粘片机的轨道防氧化装置无效
| 申请号： | 201210511717.3 | 申请日： | 2012-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN103855055A | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 张长华;钱宝龙 | 申请（专利权）人： | 兴化市华宇电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 沈志海 |
| 地址： | 225714 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种全自动晶体管粘片机的轨道防氧化装置，包括操作台、轨道板和防氧化气罐，所述操作台的左右两侧均设置所述防氧化气罐，所述轨道板固定在所述操作台上；所述轨道板的前端设置固定框，其中每个所述防氧化气罐上的气管经过所述固定框内且穿进所述轨道板内，其中所述轨道板上设置若干个通气孔。本发明的有益效果是：设计合理，制作简单，不仅能够有效的避免加工时集成电路的零部件被氧化，同时能提高使用性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全自动 晶体管 粘片机 轨道 氧化 装置 | ||
【主权项】：
一种全自动晶体管粘片机的轨道防氧化装置，其特征在于：包括操作台（1）、轨道板（2）和防氧化气罐（3），所述操作台（1）的左右两侧均设置所述防氧化气罐（3），所述轨道板（2）固定在所述操作台（1）上；所述轨道板（2）的前端设置固定框（6），其中每个所述防氧化气罐（3）上的气管（4）经过所述固定框（6）内且穿进所述轨道板（2）内，其中所述轨道板（2）上设置若干个通气孔（7）。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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