[发明专利]一种等离子喷涂钛酸钡高介电涂层的方法无效
申请号: | 201210509703.8 | 申请日: | 2012-12-04 |
公开(公告)号: | CN102965611A | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
发明(设计)人: | 邓春明;毛杰;邓畅光;刘敏;周克崧 | 申请(专利权)人: | 广州有色金属研究院 |
主分类号: | C23C4/10 | 分类号: | C23C4/10 |
代理公司: | 广东世纪专利事务所 44216 | 代理人: | 千知化 |
地址: | 510651 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种等离子喷涂钛酸钡高介电涂层的方法。特征是步骤如下:基体表面进行丙酮除油和超声波清洗后,采用24~60#锆刚玉,喷砂压力0.1~0.4MPa进行喷砂粗化,至表面均匀粗糙;使用粒径10~50μm的纯BaTiO3粉末,氮气为送粉载气,载气流量3~8L/min,送粉量15~40g/min,喷涂电流300~600A,电压65~75V,功率20~45kW,等离子气体氩为40~50L/min,H2为6~10L/min,喷距为90~150mm,基体预热温度80~200℃。本发明所述制备涂层喷涂工艺简单可行,生产效率高,制备的钛酸钡涂层厚度60~500μm,结合强度>25MPa,相对介电常数高达800~2500(100Hz),直流击穿电压4.5~10.0kV/mm,可以广泛应用于陶瓷电容器和其它绝缘部件的强介电层制备。 | ||
搜索关键词: | 一种 等离子 喷涂 钛酸钡 高介电 涂层 方法 | ||
【主权项】:
一种等离子喷涂钛酸钡高介电涂层的方法,其特征是步骤如下:基体表面进行丙酮除油和超声波清洗后,采用24~60#锆刚玉,喷砂压力0.1~0.4MPa进行喷砂粗化,至表面均匀粗糙;使用粒径10~50μm的纯BaTiO3粉末,氮气为送粉载气,载气流量3~8L/min,送粉量 15~40g/min,喷涂电流300~600A,电压65~75V,功率20~45kW,等离子气体氩为40~50L/min,H2为6~10L/min,喷距为90~150mm,基体预热温度80~200℃。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法,例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理,例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
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