[发明专利]脉冲激光体纵波厚度测量系统无效
| 申请号： | 201210501113.0 | 申请日： | 2012-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN102967281A | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 石一飞;张鹭;李旭东;蔡良续 | 申请（专利权）人： | 中国航空综合技术研究所 |
| 主分类号： | G01B17/02 | 分类号： | G01B17/02 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心 11008 | 代理人： | 李建英 |
| 地址： | 100028*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于测量技术，涉及一种厚度测量系统，特别是一种应用于金属材料或非金属材料厚度测量的脉冲激光体纵波测量系统。厚度测量系统将分光镜和凸透镜依次设置在同一光路上，光电二极管位于分光镜的反射光路上接收分光镜的反射光，光电二极管输出的电信号与电子计算机上的信号采集卡的一个接收端相连，信号采集卡的另一接收端与激光干涉仪输出端相连，脉冲激光器和激光干涉仪对心放置在被测样品两侧，被测样品放置在二维平移台上。本发明利用激光干涉仪探测超声体纵波，可以在线测量，也可用于高温环境；采用脉冲激光器和激光干涉仪对心放置，被测样品放置在二维电控平移台上的方式，实现了激光在被测样品表面的快速二维扫描。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲 激光 纵波 厚度 测量 系统 | ||
【主权项】：
脉冲激光体纵波厚度测量系统，其特征是，厚度测量系统包括脉冲激光器（1）、激光干涉仪（6）、分光镜（2）、凸透镜（3）、光电二极管（8）以及电子计算机（7），分光镜（2）和凸透镜（3）依次设置在同一光路上，光电二极管（8）位于分光镜的反射光路上接收分光镜（2）的反射光，光电二极管8输出的电信号与电子计算机（7）上的信号采集卡的一个接收端相连，电子计算机（7）上的信号采集卡的另一接收端与激光干涉仪（6）输出端相连，脉冲激光器（1）和激光干涉仪（6）对心放置在被测样品（4）两侧，被测样品（4）放置在二维平移台（5）上，脉冲激光器（1）发出的激光通过凸透镜（3）聚焦，在被测样品（4）一侧激发出高频超声体纵波，通过激光干涉仪在被测样品（4）另一侧对心方向接收直达的超声体纵波，电子计算机（7）得到超声体纵波在被测样品（4）中传播的时间，与电子计算机（7）中设置的被测样品（4）的声速相乘，实现被测样品（4）的厚度测量。
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