[发明专利]一种同步偏振相移干涉仪有效
| 申请号： | 201210487244.8 | 申请日： | 2012-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN102944169A | 公开（公告）日： | 2013-02-27 |
| 发明（设计）人： | 艾华;杨鹏;曹艳波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种同步偏振相移干涉仪，以HeNe激光器作为线偏振相干光源，包括：携带了标准镜和待测镜相位信息的参考光和测量光，分别被所述偏振分光棱镜反射和透射后合束到同一光路中，在该光路上分别依次设有1/4波片和分束棱镜；光束可被所述消偏振分束棱镜分为等幅值的两部分，分束后的两光路上分别设有偏振分光棱镜；光束经过所述偏振分光棱镜后的光路上分别设有图像采集装置。本发明的同步偏振相移干涉仪，使用波片和偏振棱镜结构，通过采用偏振光干涉，可同一时刻获得相位依次相差π/2的四幅干涉图，可消除气流和环境振动对测量的影响，可应用于光学系统现场检验，复杂恶劣环境的光学检验，并能实现连续动态测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 同步 偏振 相移 干涉仪 | ||
【主权项】：
一种同步偏振相移干涉仪，以HeNe激光器作为线偏振相干光源，其特征在于，包括：所述激光器（1）出射的线偏振光的光路上设置的偏振分光棱镜（6），偏振光的振动方向与偏振分光棱镜（6）的主截面成45°，线偏振光入射到所述偏振分光棱镜（6）后被分解为水平偏振的参考光和垂直偏振的测量光；在参考光的光路上的分别依次设置的1/4波片（7）和标准镜（8）；参考光可经所述标准镜（8）的反射，携带标准镜的相位信息返回所述偏振分光棱镜（6）；在测量光的光路上的分别依次设置的1/4波片（9）、透镜（10）和待测镜（11）；测量光可经所述待测镜（11）的反射，携带待测镜的相位信息返回所述偏振分光棱镜（6）；携带了标准镜和待测镜相位信息的参考光和测量光，分别被所述偏振分光棱镜（6）反射和透射后合束到同一光路中，在该光路上分别依次设有1/4波片（12）和消偏振棱镜（13）；光束可被所述消偏振棱镜（13）分为等幅值的两部分，分束后的两光路上分别设有偏振分光棱镜（14、15）；光束经过所述偏振分光棱镜（14、15）后的光路上分别设有图像采集装置。
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