[发明专利]真空镀膜工件转台无效
| 申请号： | 201210480813.6 | 申请日： | 2012-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN103834926A | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 王叔晖;刘竹杨 | 申请（专利权）人： | 上海法德机械设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 胡美强 |
| 地址： | 201616 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种真空镀膜工件转台，其包括一载物台，该载物台包括一转盘和一行星齿轮，该转盘和该行星齿轮中的太阳轮通过滚珠相枢接。本发明通过使用滚珠直接将该转盘和该行星齿轮相枢接，该载物台具有结构简单和轻薄的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 工件 转台 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜工件转台，其包括一载物台，其特征在于，该载物台包括一转盘和一行星齿轮，该转盘和该行星齿轮中的太阳轮通过滚珠相枢接。
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