[发明专利]透射电镜样品承载装置有效
| 申请号： | 201210480016.8 | 申请日： | 2012-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN102983049A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 许婷婷;陈清 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/26 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 11200 | 代理人： | 邵可声 |
| 地址： | 100871 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种透射电镜样品承载装置，该装置包括承载部分和金属电极，所述承载部分上设置有通孔、卡槽、金属片/层等结构，可以承载大小和微栅大小相当，厚度在500um内的样品，在固定样品基片的同时，还能使检测探针从通孔处方便地移至样品边缘对样品进行弯曲、修饰、改变接触等操作，并通过透射电子显微镜进行观察；所述的金属电极可以和样品中的纳米器件的源、漏、栅极相连，通过使用外接电源和仪表，原位测量纳米电子器件；承载部分的金属片/层还能有效消除静电干扰。 | ||
| 搜索关键词： | 透射 样品 承载 装置 | ||
【主权项】：
一种透射电镜样品承载装置，其特征在于，包括承载部分和金属电极，所述承载部分一侧开有通孔，金属电极位于承载部分的另一侧和/或上/下侧。
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