[发明专利]包含多酰胺组分的光致抗蚀剂无效
| 申请号： | 201210478565.1 | 申请日： | 2012-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN102998904A | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | G·P·普罗科普维茨;G·珀勒斯;刘聪;C·吴;C-B·徐;吴俊锡 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/038;G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
包含多酰胺组分的光致抗蚀剂。提供了一种光致抗蚀剂组合物，所述组合物包括：(a)一种或多种树脂；(b)一种或多种光致产酸剂化合物；和(c)一种或多种下式所示的多酰胺化合物：其中R1、R2、R3和R4独立选自H、(C1-C30)烷基、和酰胺取代(C1-C30)烷基；R1和R2，或R1和R3或R3和R4可与连接其上的原子一起形成5到12元杂环；和L是在羰基之间提供3到8个原子间隔的连接基团；其中多酰胺化合物没有羟基。 |
||
| 搜索关键词： | 包含 多酰胺 组分 光致抗蚀剂 | ||
【主权项】：
1.一种光致抗蚀剂组合物，所述组合物包括：(a)一种或多种树脂；(b)一种或多种光致产酸剂化合物；和(c)一种或多种下式所示的多酰胺化合物：![]()
其中R1、R2、R3和R4独立选自H、(C1-C30)烷基、和酰胺取代(C1-C30)烷基；R1和R2，或R1和R3或R3和R4可与连接其上的原子一起形成5到12元杂环；和L是在羰基之间提供3到8个原子间隔的连接基团；其中多酰胺化合物没有羟基。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗门哈斯电子材料有限公司，未经罗门哈斯电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210478565.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种具有变胞功能的码垛机
- 下一篇：刀具热处理方法
